Cleaning Room Requirement 無塵室維護與監控實務

無塵室的定義，最早是在美國聯邦標準 209 上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。在歐洲與日本，隨著工業的日益發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代後期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，於是有 ISO-14644 的產生。
整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關設備等，範圍很廣。

課程大綱:
‧無塵室基本概念
‧無塵室分級要求
‧無塵室之定期維護與控管方式